플라즈마 전원장치
DC, Dual-DC, Pulsed-DC, RF 4가지 타입의 플라즈마 전원장치. 스퍼터링, 에칭, CVD 등 반도체 및 디스플레이 공정에 최적화되어 있습니다.
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제품 시리즈
DC 플라즈마 전원장치
피에스텍의 기본형 플라즈마 전원장치로서 최신 스위칭 소자를 적용하여 효율이 향상된 제품입니다. 특히 신속한 디지털 아크 제어를 통해 공정 안정성과 코팅 품질을 향상시킬 수 있습니다. 국내 고객사와 함께 장시간 현장 테스트를 진행하여 안정성을 검증하였고 반도체, 디스플레이, 코팅 등 다양한 산업 분야의 고객에게 공급하고 있습니다.
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Dual-DC 플라즈마 전원장치
전원장치 1대로 2 채널 출력이 가능한 DUAL-DC 플라즈마 전원장치로 채널 별로 단독 제어가 가능하여 1대로 2대의 전원장치를 구비한 효과를 얻으실 수 있는 제품입니다. 획기적으로 공간을 절약할 수 있고 투자비 또한 절감할 수 있습니다.
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Pulsed-DC 플라즈마 전원장치
피에스텍의 Pulsed-DC 플라즈마 전원장치는 안정적인 Pulse 출력과 연속 동작 안정성이 보장된 제품입니다. 또한 신속한 디지털 아크 제어로 향상된 코팅 품질과 증착율을 구현 할 수 있고, DC 모드 출력을 지원하여 1대의 전원장치로 2대의 전원장치(Pulsed와 DC)를 구비한 효과를 얻으실 수 있습니다.
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RF 플라즈마 전원장치
RF 기술은 높은 정확도와 반복 재현성이 필요한 공정에 적합한 기술입니다. 피에스텍의 RF 플라즈마 전원장치는 장시간 안정적인 동작과 높은 matching 정밀도가 보장된 제품으로 향상된 생산성과 최고 품질의 결과물을 얻으실 수 있습니다.
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