Pulsed-DC 플라즈마 전원장치
피에스텍의 Pulsed-DC 플라즈마 전원장치는 안정적인 Pulse 출력과 연속 동작 안정성이 보장된 제품입니다. 또한 신속한 디지털 아크 제어로 향상된 코팅 품질과 증착율을 구현 할 수 있고, DC 모드 출력을 지원하여 1대의 전원장치로 2대의 전원장치(Pulsed와 DC)를 구비한 효과를 얻으실 수 있습니다.
특징 및 장점
안정적인 동작
- 안정적인 Pulse 출력과 보장된 연속 동작으로 안정성 확보
- 최대 150kHz까지 Pulse 출력 주파수 조정 가능
- 다양한 보호기능: OCP(과전류 보호), OVP(과전압 보호), OTP(과온도 보호) 등
신속한 디지털 아크 제어
- 신속한 디지털 아크 제어로 높은 코팅율을 보장하고, 얇은 층들을 균일하게 적층 가능
- 기판 손상 감소, 공정 안정성 향상
DC모드 출력 지원
- DC모드 출력을 지원하여 1대의 전원장치로 Pulsed와 DC, 2대를 구비한 효과를 얻을 수 있음
경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
적용 분야
반도체, 디스플레이, 코팅 공정의 플라즈마 장비에 적용됩니다.
적용 제품 분야
반도체: Dry Etching (ICP, CCP), Cleaning, Deposition (PVD, PECVD, PEALD)디스플레이: Deposition (PVD, PECVD)일반 산업: 자동차 부품(액세서리), 공구류, 기계류, 핸드폰 케이스 하드 코팅, 광학 필름류 코팅의료용 부품
제품 사양
| 구분 | 항목 | PSPP-10080WB | PSPP-10080WC | PSPP-20080WB | PSPP-20080WC |
|---|---|---|---|---|---|
| 출력 | 최대 출력 | 10kW | 20kW | ||
| 최대 전압 | 800V | ||||
| 최대 전류 | < 25A | < 50A | |||
| 효율성 | > 90% | ||||
| Ignition Voltage: 1500V | |||||
| 입력 | 전압 | 3상 220V | 3상 380V | 3상 220V | 3상 380V |
| 주파수 | 47~63Hz | ||||
| Power Factor | > 90% | ||||
| 기계요소 | 무게 | 25kg | 35kg | 25kg | 35kg |
| 크기 (W×D×H) | 480×760×132mm | ||||
| 냉각방식 | Forced Air | ||||
| 통신 | 아날로그 | 0-5V, 0-10V | |||
| 디지털 | RS485, RS232C | ||||
| 프로토콜 | Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option) | ||||
| 보호/기능 | 보호 | OVP, OCP, Arc Rate, OTP | |||
| 기능 | Arc counting, Run time counting | ||||
