RF 플라즈마 전원장치
RF 기술은 높은 정확도와 반복 재현성이 필요한 공정에 적합한 기술입니다. 피에스텍의 RF 플라즈마 전원장치는 장시간 안정적인 동작과 높은 matching 정밀도가 보장된 제품으로 향상된 생산성과 최고 품질의 결과물을 얻으실 수 있습니다.
특징 및 장점
Auto matching
- 높은 Matching 정밀도
- 정밀한 Matching을 위해 최적의 알고리즘 적용
장시간 동작 안정성
- 고신뢰성 캐패시터를 적용하여 장시간 동작 안정성 확보
넓은 부하 범위
- 다양한 부하 특성에 적합한 Matching solution 구성
플라즈마 밀도값 확인 가능
- DC bias 값 정밀 센싱 구성
RF Generator
- 장시간 동작 안정성
- 실부하 동작 안정성 테스트로 안정성 검증
- 다수의 RF를 동일한 챔버에 적용 가능
- 출력 Phase shift 기능 포함, CEX 기능 포함
경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
적용 분야
반도체, 디스플레이, 코팅 공정의 플라즈마 장비에 적용됩니다.
적용 제품 분야
반도체: Dry Etching (ICP, CCP), Cleaning, Deposition (PVD, PECVD, PEALD)디스플레이: Deposition (PVD, PECVD)일반 산업: 자동차 부품(액세서리), 공구류, 기계류, 핸드폰 케이스 하드 코팅, 광학 필름류 코팅의료용 부품
제품 사양
| 구분 | 항목 | 사양 / Specification |
|---|---|---|
| 출력 | 출력 범위 | 150~6000W |
| 부하 임피던스 | 50Ω | |
| 주파수 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 입력 | 전압 | 3상 220V |
| 주파수 | 50/60Hz ±5% | |
| 전류 | 12.9A | |
| 기계요소 | 무게 | 20kg |
| 크기 (W×D×H) | 241×603×155mm | |
| 냉각방식 | Forced Air | |
| 통신 | 아날로그 | 0-5V, 0-10V |
| 디지털 | RS485, RS232C | |
| 프로토콜 | Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option) | |
| 보호/기타 | 보호 | OVP, OCP, Arc Rate, OTP |
| 연결 타입 | N type female |
