산업용 전원장치
산업용 전원장치 분야 선두 주자로서 다양한 첨단 산업 설비의 기저 기술을 위한 고전력, 고정밀도의 전원장치를 설계 및 제작해오고 있습니다.
정전척(ESC) 전원장치
반도체 웨이퍼 고정용 정전척 구동을 위한 정밀 전원장치입니다.
정밀 전압 제어 ±0.1% 이내
빠른 응답 속도 < 1ms
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추천광소결 시스템 (Hi-Pulse)
피에스텍 광소결 시스템은 출력 전압과 전류를 모두 제어하는 정전력 제어 방식을 사용하고 있어 램프 조사 시 항상 균일한 에너지를 기재에 전달 할 수 있기 때문에 고품질의 제품 양산에 적합합니다. 대면적 양산 적용이 가능하며, lamp house 당 유효 조사 면적은 가로 방향으로 최대 200mm입니다.
팔스당 MW급 고속 스위칭 기술로 정전력 제어 가능
램프 조사 시 펄스 폭을 변화시켜 동일한 에너지를 기재에 전달함으로써 균일한 품질의 제품 생산이 가능하여 양산 시스템에 적합
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추천플라즈마 전원장치
DC, Dual-DC, Pulsed-DC, RF 4가지 타입의 플라즈마 전원장치. 스퍼터링, 에칭, CVD 등 반도체 및 디스플레이 공정에 최적화되어 있습니다.
DC / Dual-DC / Pulsed-DC / RF 4종 라인업
고속 디지털 아크 제어 (< 10μs)
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전기집진기(ESP) 전원장치
산업 현장의 분진 및 미세먼지 제거를 위한 전기집진기 전용 고압 전원장치입니다.
고압 직류 출력 (최대 100kV)
자동 스파크 관리 시스템
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선박 평형수 처리 시스템(BWMS)
선박의 밸러스트수를 처리하여 외래 해양 생물 전파를 방지하는 IMO 승인 시스템입니다.
IMO G8 기준 준수
전기분해 방식 적용
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UV 전자식 안정기
자외선 램프 구동을 위한 고주파 전자식 안정기입니다.
고역률 설계 (PF > 0.95)
램프 수명 연장
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제품 문의 및 상담
맞춤형 제품 개발부터 기술 상담까지. 피에스텍 전문가가 최적의 솔루션을 제안해 드립니다.