정전척(ESC) 전원장치
반도체 웨이퍼 고정용 정전척 구동을 위한 정밀 전원장치입니다.
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제품 시리즈
반도체 공정용 정전척 전원장치
웨이퍼의 Chucking 상태를 확인하기 위한 Capacitance monitoring 기능을 통해 효율적인 공정 관리가 이루어지도록 합니다. 또한 RF 필터 내장, 디지털 아크 제어 등과 같은 다양한 보호기능으로 장비와 웨이퍼를 효과적으로 보호할 뿐만 아니라 불량률을 최소화 할 수 있습니다.
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디스플레이 공정용 정전척 전원장치
피에스텍의 디스플레이 공정용 정전척 전원장치는 정전용량 모니터링, Auto Toggle과 같은 특수 기능을 통해 공정 생산성 향상에 기여할 수 있습니다. 또한 국내 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 안정성과 생산성을 검증 받은 제품입니다.
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