반도체 공정용 정전척 전원장치
웨이퍼의 Chucking 상태를 확인하기 위한 Capacitance monitoring 기능을 통해 효율적인 공정 관리가 이루어지도록 합니다. 또한 RF 필터 내장, 디지털 아크 제어 등과 같은 다양한 보호기능으로 장비와 웨이퍼를 효과적으로 보호할 뿐만 아니라 불량률을 최소화 할 수 있습니다.
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특징 및 장점
입증된 안정성
- 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 제품 안정성 검증
- CE 인증 획득
장비 보호 & 공간 효율 향상
- 고주파 차단 필터인 Low Pass Filter를 내장하여 고주파로부터 장비 보호
- 컴팩트한 사이즈를 실현하여 설치 공간 효율 향상
디지털 아크 제어를 통한 웨이퍼 보호
- 아크 발생 후 약 4㎲ 이내에 아크를 차단
- 전원 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정이 가능
- 출력 전류가 기준 설정치 이상일 경우 OCP 작동
생산성 향상
- 출력 상승 속도(Ramp up time) 0.3s로 공정시간 최소화
- 정전용량 모니터링, Auto Toggle 등 특수 기능 제공
높은 신뢰성
- 전압 변동 범위 출력 전압의 ±2% 이내 구현
사용성 향상
- 전원장치에서 부하(정전척)의 정전용량을 Display하여 공정상태 확인 가능 (정전용량 모니터링 기능)
- 웨이퍼 Warpage, 글라스 슬라이딩 현상 확인 가능
- 사용자 편의성을 고려해 원격 제어가 가능한 PC프로그램을 자체 개발
- 정전 용량 측정 기능을 이용한 케이블 단선 확인 가능 (실시간)
- PLC 연동 가능 (RS-232, 485, TCP/IP(MODBUS 프로토콜))
경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
적용 분야
반도체 공정 장비의 정전척 구동에 적용됩니다.
적용 제품 분야
반도체 공정
제품 사양
| 구분 | 항목 | PSES-50250PBR / PSES-20200PBR | PSEM-15500PB (1U) |
|---|---|---|---|
| Input | 전압 | DC 24V | |
| Output | DC Voltage | +/-(0~2,500)V 2ch | +/-(0~5,000)V 1ch |
| DC Current | ~50mA | ~3mA | |
| Ramp up/down | 0.3~9.99 sec | 0.1~9.99 sec | |
| Arc Detecting | Arc Delay (10~50ms) / Arc Rate (1~1000arc/s) | ||
| Auto Toggle | Available | ||
| Voltage regulation | ±0.5% | ±2V (1500~5000V) | |
| Etc | Interface | RS-485, RS-232(SCPI), LAN | RS-485, RS-232(SCPI) |
| Function | OVP / OCP / Current Limit (0.0~10.0mA) / RF Filtering (LPF_Option) / Toggle | OVP / OCP / Current Limit (0.0~3.0mA) / RF Filtering (LPF_Option) / Toggle / SIZE: 203×44×155㎜ (1U) | |
