디스플레이 공정용 정전척 전원장치
피에스텍의 디스플레이 공정용 정전척 전원장치는 정전용량 모니터링, Auto Toggle과 같은 특수 기능을 통해 공정 생산성 향상에 기여할 수 있습니다. 또한 국내 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 안정성과 생산성을 검증 받은 제품입니다.
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특징 및 장점
입증된 안정성
- 대기업과 장기간 필드 테스트를 통해 제품 안정성 검증
- CE 인증 획득
디지털 아크 제어를 통한 기판 보호
- 아크 발생 후 약 4㎲ 이내에 아크를 차단
- 전원 차단 후 재기동까지 휴지 시간 설정이 가능
- 출력 전류가 5mA 이상일 경우 OCP 작동
생산성 향상
- 출력 상승 속도(Ramp up time) 0.3s로 공정시간 최소화
- 정전용량 모니터링, Auto Toggle 등의 특수 기능 제공
사용성 향상
- 전원장치에서 부하(정전척)의 정전용량을 Display하여 공정상태 확인 가능 (정전용량 모니터링 기능)
- 웨이퍼 Warpage, 글라스 슬라이딩 현상 확인 가능
- 사용자 편의성을 고려해 원격 제어가 가능한 PC프로그램을 자체 개발
- 정전 용량 측정 기능을 이용한 케이블 단선 확인 가능 (실시간)
- PLC 연동 가능
경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
적용 분야
디스플레이 공정 장비의 정전척 구동에 적용됩니다.
적용 제품 분야
디스플레이 공정
제품 사양
| 구분 | 항목 | PSES-50250PBN | PSES-50500PB |
|---|---|---|---|
| Input | Voltage | DC 24V | |
| Output | DC Voltage | +/-(0~2,500)V 2ch | +/-(0~5,000)V 2ch |
| DC Current | ~10mA | ~5mA | |
| Ramp up/down | 0.3~9.99 sec | ||
| Arc Detecting | Arc Delay (10~50ms) / Arc Rate (1~1000arc/s) | ||
| Auto Toggle | Available | ||
| Voltage regulation | ±0.5% | ||
| Etc | Interface | RS-485, RS-232(SCPI), LAN | |
| Function | OVP / OCP / Current Limit (0.0~10.0mA) / Toggle / Etc…. | ||
