광소결 시스템 (Hi-Pulse)
피에스텍 광소결 시스템은 출력 전압과 전류를 모두 제어하는 정전력 제어 방식을 사용하고 있어 램프 조사 시 항상 균일한 에너지를 기재에 전달 할 수 있기 때문에 고품질의 제품 양산에 적합합니다. 대면적 양산 적용이 가능하며, lamp house 당 유효 조사 면적은 가로 방향으로 최대 200mm입니다.
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특징 및 장점
정전력 제어 방식을 통한 균일한 품질의 제품 양산 가능
- 팔스당 MW급 고속 스위칭 기술로 정전력 제어 가능
- 램프 조사 시 펄스 폭을 변화시켜 동일한 에너지를 기재에 전달함으로써 균일한 품질의 제품 생산이 가능하여 양산 시스템에 적합
대면적 양산에 적합
- 램프 반사깃 설계 기술 보유, Uniformity 98% 이상
- 램프 한대 당 유효 조사 면적 업계 최대: 300~1500mm x 200mm
- 소용량 램프 Array 방식 또는 대용량 램프 중 선택 가능
대량생산 및 고속생산을 통한 생산성 향상
- ms 단위의 공정으로 공정 시간을 최소화하여 생산성 향상
- 레투레 방식의 초고속 및 대면적 소결 가능
유연기판에 적용 가능
- 기존 소결 공정의 열 문제를 개선한 저온 소결 방식
- 상온, 대기압 상태에서 기재에 손상 없이 소결 가능
단순 공정에 따른 제조 원가 절감
- 기존 반도체와 디스플레이 제조 공정에 비해 공정 축소 가능
- 설비 투자비 절감
간편한 PC 프로그램
- 자주 사용하는 출력 패턴 저장 기능
- 설정한 패턴에 대한 시뮬레이션 파형 Display 가능
다양한 보호기능
- 램프 과열 및 냉각 보호기능, OCP(Over Current Protection), OVP(Over Voltage Protection), OTP(Over Temperature Protection) 등
적용 분야
전자회로, 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 분야의 인쇄전자 소결 공정에 적용됩니다.
적용 제품 분야
RFID Tag스마트 라벨웨이퍼 세팅웨이퍼 어닐링실리콘 결정화LCDOLED유기박막 태양전지조명배터리바이오 센서
제품 사양
| 구분 | 항목 | Hi-Pulse 15000 | Hi-Pulse 30000 | Hi-Pulse 45000 | Hi-Pulse 60000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 피크 출력 | 출력 용량 | 2.5MW | 5MW | 7.5MW | 10MW |
| 최대 전압 | 700V | 1400V | 2100V | 2800V | |
| 최대 전류 | 3600A | ||||
| 평균 출력 | 출력 용량 | 15kW | 30kW | 45kW | 60kW |
| 주파수 | 0.1 ~ 100Hz | ||||
| 펄스 주기 | 0.1 ~ 20ms | ||||
| 시머 전류 | 1 ~ 5A | ||||
| 점등 전압 | 35kV 피크 이상 | ||||
| 입력 | 전압 | 3-Phase, 220V / 380V / 440V ±10% | |||
