Dual-DC 플라즈마 전원장치
전원장치 1대로 2 채널 출력이 가능한 DUAL-DC 플라즈마 전원장치로 채널 별로 단독 제어가 가능하여 1대로 2대의 전원장치를 구비한 효과를 얻으실 수 있는 제품입니다. 획기적으로 공간을 절약할 수 있고 투자비 또한 절감할 수 있습니다.
특징 및 장점
공간 절약 및 투자비 절감
- 채널 별 단독 제어가 가능하여 Dual-DC 1대로 DC 2대 효과를 얻을 수 있음
- 설치 공간 절약 및 투자비 절감 가능
안정적인 동작
- 출력 부하 short 발생시 하드웨어 손상을 최소화한 시스템 구성
- 다양한 보호기능: OCP(과전류 보호), OVP(과전압 보호), OTP(과온도 보호) 등
신속한 디지털 아크 제어
- 신속한 디지털 아크 제어로 높은 코팅율을 보장하고, 얇은 층들을 균일하게 적층 가능
- 기판 손상 감소, 공정 안정성 향상
높은 효율성
- 고속으로 스위칭이 가능한 최신 스위칭 소자 SiCFET을 적용하여 효율 향상
경제적인 가격
- 타사 대비 저렴한 가격으로 투자비 절감 가능
적용 분야
반도체, 디스플레이, 코팅 공정의 플라즈마 장비에 적용됩니다.
적용 제품 분야
반도체: Dry Etching (ICP, CCP), Cleaning, Deposition (PVD, PECVD, PEALD)디스플레이: Deposition (PVD, PECVD)일반 산업: 자동차 부품(액세서리), 공구류, 기계류, 핸드폰 케이스 하드 코팅, 광학 필름류 코팅의료용 부품
제품 사양
| 구분 | 항목 | PSPD-10080WB | PSPD-10080WC |
|---|---|---|---|
| 출력 | 최대 출력 | 10kW (Dual output power) | |
| 최대 전압 | 800V | ||
| 최대 전류 | < 25A | ||
| 효율성 | > 90% | ||
| Ignition Voltage: 1500V | |||
| 입력 | 전압 | 3상 220V | 3상 380V |
| 주파수 | 47~63Hz | ||
| Power Factor | > 90% | ||
| 기계요소 | 무게 | 35kg | |
| 크기 (W×D×H) | 480×760×132mm | ||
| 냉각방식 | Forced Air | ||
| 통신 | 아날로그 | 0-5V, 0-10V | |
| 디지털 | RS485, RS232C | ||
| 프로토콜 | Modbus, CAN, Profibus(Option), Device-Net(Option) | ||
| 보호/기능 | 보호 | OVP, OCP, Arc Rate, OTP | |
| 기능 | Arc counting, Run time counting | ||
